美幸辉MIYUKI 抽气泵阀门开度控制器 代理商 MIYUKI 美幸辉真空控制蝶阀为日本原厂高真空专用角行程蝶阀，分为**气动驱动、伺服电机驱动**两大品类，覆盖 25A‑350A 全口径，支持 JIS/ISO/KF/CF 多种法兰标准。阀体超薄结构，流导性能优异，低放气、低产尘，漏率指标优异，可用于常压至 10⁻⁵Pa 高真空系统

美幸辉MIYUKI 抽气泵阀门开度控制器 代理商
美幸辉MIYUKI 抽气泵阀门开度控制器 代理商

详细介绍

1、主要产品系列

1. B/BH 系列｜气动真空蝶阀齿轮齿条气动执行；BH 为双级气缸，具备 0° 全关‑45° 半开‑90° 全开三档位，单阀实现慢排气 + 快速排气；标配全开全闭微动开关信号反馈；气缸内置气垫缓冲，启闭减震降噪，体积小输出推力大。

2. BAR‑GAZ 系列｜电机伺服控制蝶阀伺服电机直驱，无齿轮背隙，0‑90° 全行程任意开度精准定位；内置位置传感器，停电保持阀位；微小开度调节稳定，适合腔体压力闭环 PID 控制，低颗粒，适配严苛半导体制程。

3. G 系列｜气动伺服真空蝶阀压缩空气驱动实现无级开度调节，无需伺服电机；球面多点压紧密封，正向、反向压差均可可靠密封，适配连续量产产线调压工况。

2、结构与材质

• 过流部件：阀体、蝶板、阀杆SUS304 不锈钢，内腔电解镜面抛光，减少气体吸附析出，低放气。

• 密封件：标准 FKM 氟橡胶；可选 FFKM 全氟醚密封圈，适配高温、腐蚀性工艺气体。

• 轴封：双层真空轴封结构，外泄漏控制优异。

• 装配：原厂洁净室组装，每台氦质谱检漏出厂；无安装姿态限制，水平、垂直、倾斜均可安装株式会社美...。

3、核心技术参数

• 口径：25A～350A

• 法兰：JIS、ISO、KF (NW)、CF 法兰可选

• 工作压力：常压 10⁵Pa ～ 10⁻⁵Pa 高真空

• 漏率：阀座密封≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 工作温度：FKM 密封‑20~120℃；FFKM 密封最高 150℃

• 气动款气源：0.4‑0.6MPa 洁净干燥压缩空气

• 信号：标配全开、全闭位置微动开关；伺服款支持阀位信号输出，对接 PLC 系统。

4、产品特点

1. 超薄阀体，大通导：面间厚度小，气流阻力低，提升腔体抽气效率，缩短抽真空周期。

2. 密封可靠，双向承压：蝶板压紧密封，真空端、大气端双向压差条件下依旧保持密封性能。

3. 低粉尘洁净设计：减少内部金属滑动摩擦零件，产尘少，满足半导体、镀膜洁净工艺要求。

4. 运行平稳低噪音：气动款气缸气垫缓冲；伺服直驱无间隙，启闭冲击小，保护真空管路与腔体。

5. 功能丰富：气动款可实现两级开度慢排气；伺服款实现连续无级调压，适配泄压、抽气、压力闭环控制多种工艺需求。

6. 维护简单：模块化结构，密封圈拆装更换便捷，降低产线运维成本。

5、典型应用领域

✅半导体：刻蚀、PVD/CVD 镀膜设备，真空管路切断、压力调节✅光学光伏：溅射、蒸发镀膜机，腔体抽气、慢泄压控制✅新能源锂电：真空烘烤、烧结、脱泡设备管路隔断✅真空热处理：退火炉、钎焊炉真空管路通断✅科研设备：各类高真空实验腔体、电子束设备、测试平台

选型提示：慢抽泄压优先选 BH 双级气缸系列；需要连续压力闭环调节选用 BAR 伺服电机系列或 G 气动伺服系列；大通径优先确认法兰标准（JIS / ISO），密封件根据工况温度、介质腐蚀性选配。