COSMOS 泵吸式便携式半导体特气检测仪 进口 XPS‑7II 是日本 COSMOS 新宇宙**泵吸式便携式半导体特气检测仪**新考思莫施...，采用盒式插拔预校准传感器单元，一台主机通过更换 XDS‑7 系列传感器模组，检测硅烷、磷烷、砷烷、氨气、三氟化氮等半导体剧毒工艺气体，泵吸采样

COSMOS 泵吸式便携式半导体特气检测仪 进口
COSMOS 泵吸式便携式半导体特气检测仪 进口

详细介绍

XPS‑7II 专为半导体行业特种有毒气体现场检测开发，区别普通通用气体检测仪，最C大优C势为盒式预校准传感器单元，传感器出厂已经完成标定，现场直接插拔更换即可，仪器本体不需要再做气体校准，节省标定设备、标气耗材以及停机维护时间，适配半导体产线连续生产的运维需求。

仪器为泵吸自动吸引采样，外接采样探管、采样软管，可以伸入机台缝隙、气瓶柜内部、阀门法兰、排气管路等点位抽取气体样品，完成泄漏点定位与浓度读数。检测原理以定电位电解式为主，检测三氟化氮 NF₃模组集成热裂解单元，是市面上小型便携设备中可直接检测 NF₃的机型New Cosmos...。可适配多款 XDS‑7 传感器，覆盖硅烷、磷烷、砷烷、乙C硼C烷、氨气、二氧化硅烷、三氟化氮、硫化氢、二氧化硫、臭氧等多种工艺气体，量程随所选传感器单元而定，ppb、ppm 级别均可实现检测新考思莫施...。

主机搭载大尺寸 4 位数字 LCD 显示屏，实时显示气体浓度数值，同时配备浓度柱状图、流量状态标识，流量图标旋转代表采样泵正常工作；具备一段、二段两级报警，报警蜂鸣频率跟随气体浓度变化，浓度越低蜂鸣间隔越长，浓度升高蜂鸣变快，高浓度时转为连续蜂鸣，搭配红色报警灯闪烁、屏幕闪烁告警，工作人员可以通过声音节奏快速判断泄漏强弱，方便现场查漏定位新考思莫施...。

供电方式灵活，可使用 4 节 AA5 号碱性干电池，无报警工况连续使用可达 12 小时，选用 NF3 传感器单元时续航 8 小时以上；也可选配专用 AC 适配器接市电长期工作，兼顾外出巡检和工位定点检测两种使用场景新コスモス...。整机 W62×H150×D128mm，重量约 1.3kg，配备肩带，操作人员可肩挂作业，解放双手方便现场操作。工作环境 0‑40℃，适合洁净厂房室内使用，本机不具备防水防爆性能，不可用于防爆危险区域、不可淋水ManualsLib。

广泛应用晶圆半导体制造、化合物半导体、光伏电池产线，用于 CVD、刻蚀设备、特气气瓶柜、工艺管路、废气处理设备的有毒特种气体泄漏巡检与浓度确认，也可用于精细化工特种气体实验室检测作业。

选型提示：传感器单元需要按照使用寿命定期更换；设备无防爆，仅限室内安全区域使用；不能检测可燃气体 % LEL；过滤器滤芯定期更换，防止粉尘水汽损坏传感器。

规格

*1 请咨询待检测气体的种类。