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代理ULVAC爱发科 一体化皮拉尼真空计 进口
代理ULVAC爱发科 一体化皮拉尼真空计 进口
可降低成本并节省空间的传感器类型。
铂金具有优异的耐腐蚀性,因此被用作灯丝材料。
设定点输出:2 点;检测器输出:直流 0-5V(非线性输出)
电源电压:直流24V输入
用于各种制造设备(包括半导体和电子元件)的低真空范围内的过程控制。
用于各种工业设备(包括熔炉)低真空区域的过程控制。
适用于具有多个工艺腔室的各种制造设备的低真空工艺控制,例如在线式和单晶圆系统。
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 自适应测量元件 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
测量精度 | ±15%(51帕至760帕) |
| ±30%(10 Pa 至 1000 Pa) | |
| ±50%(0.4 Pa 至 3000 Pa) | |
| 工作温度范围 | 10-40℃ |
| 采样时间 | 50毫秒,5步移动平均处理 |
测量输出 | 非线性输出:直流 0-5V(最大 10V) |
| (更新时间)50毫秒 | |
| (分辨率)10 mV | |
| 设定点 1/2 调节输出 | 非线性输出:直流 0-5V(最大 10V) |
| 控制输出电压 | 开放式集线器,负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、误差、设定点 1/2 |
| 电源电压 | 直流 24V ± 2V,90mA(最大值) |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P(M2.6 螺丝) |
| 体重 | 190克(不含测量探针) |
配件 | 输入/输出连接器套装(1套) |
| 快速手册(1份) |
I/O、模拟地线和电源地线未隔离。

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