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代理ULVAC爱发科 一体化皮拉尼真空计 进口
  • 产品型号:SP1
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-09-08
  • 访  问  量:96
简要描述:

代理ULVAC爱发科 一体化皮拉尼真空计 进口 ULVAC 爱发科 SP1 属于 G‑TRAN 系列一体化皮拉尼真空计,测量区间 0.4‑3000Pa,DC24V 供电,输出 0‑5V 模拟信号,无需显示表头,可直接对接 PLC。铂灯丝耐腐蚀,兼容 WP‑01/WP‑02/WP‑03/WP‑16 探头

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代理ULVAC爱发科 一体化皮拉尼真空计 进口
代理ULVAC爱发科 一体化皮拉尼真空计 进口

SP1 传感器单元是一种传感器型皮拉尼真空计,其测量探头和电路集成在一个单元中,从而节省成本并提高空间利用率。

    特征

    • 可降低成本并节省空间的传感器类型。

    • 铂金具有优异的耐腐蚀性,因此被用作灯丝材料。

    • 设定点输出:2 点;检测器输出:直流 0-5V(非线性输出)

    • 电源电压:直流24V输入

    目的

    • 用于各种制造设备(包括半导体和电子元件)的低真空范围内的过程控制。

    • 用于各种工业设备(包括熔炉)低真空区域的过程控制。

    • 适用于具有多个工艺腔室的各种制造设备的低真空工艺控制,例如在线式和单晶圆系统。

    类型传感器单元
    模型SP1
    自适应测量元件WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

    测量精度


    ±15%(51帕至760帕)
    ±30%(10 Pa 至 1000 Pa)
    ±50%(0.4 Pa 至 3000 Pa)
    工作温度范围10-40℃
    采样时间50毫秒,5步移动平均处理

    测量输出


    非线性输出:直流 0-5V(最大 10V)
    (更新时间)50毫秒
    (分辨率)10 mV
    设定点 1/2 调节输出非线性输出:直流 0-5V(最大 10V)
    控制输出电压开放式集线器,负逻辑
    错误信号
    设定点 1/2
    LED显示屏功率、误差、设定点 1/2
    电源电压直流 24V ± 2V,90mA(最大值)
    输入/输出连接器D-sub-15P(M2.6 螺丝)
    体重190克(不含测量探针)

    配件

    输入/输出连接器套装(1套)
    快速手册(1份)

    I/O、模拟地线和电源地线未隔离。



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