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EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂直销
  • 产品型号:ESR20N
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-10-10
  • 访  问  量:46
简要描述:

EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂直销 ESR20N 是日本 EBARA 荏原 ESR 系列水冷式多级罗茨干式真空泵,主打洁净中负荷工艺,50/60Hz 工况抽气性能保持一致,无需氮气吹扫即可用于洁净工况。采用无油干式结构,搭载直流无刷电机与智能控制系统,支持怠速节能模式,降低能耗与运行成本。

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EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂直销
EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂直销

ESR20N 是日本荏原 EBARA ESR 系列多级罗茨式水冷无油干式真空泵,专为半导体、光伏等中负荷真空工艺开发,属于节能型工艺干泵,兼顾洁净真空需求与连续生产稳定性,广泛用于晶圆锁腔、镀膜、等离子工艺等场景。

传统大型干泵普遍存在能耗高、体积庞大、控制简单、运维成本高的痛点,荏原 ESR 系列通过全新转子结构设计与直流无刷电机方案,相比传统交流电机干泵,在电力、冷却水、氮气消耗以及占地面积上都实现优化。ESR20N 最大亮点为50Hz/60Hz 频率下抽气性能保持一致,国内外产线改造、出口设备配套时无需重新评估泵的抽速性能,项目落地更加便捷。

泵体采用多级罗茨干式无油结构,泵内部无润滑油,从源头消除碳氢油雾污染晶圆、光学组件与真空腔体。在洁净气体工况下,ESR20N 不需要持续通入氮气轴封吹扫,减少配套供气系统投入与氮气消耗;如果工艺含有轻度腐蚀性气体,可升级镍基耐蚀合金材质选项,提升泵体抗腐蚀能力,拓展至轻度腐蚀工艺使用。

规格








模型单元ESR20NESR30ESR30NESR500W(N)
冷却水流速升/分钟2-83.5~83.5~83.5~8
温度℃最多 30最多 30最多 30最多 30
电源功率容量千伏安47712.3
排气速度升/分钟1300~20003000300046000
极限压力宾夕法尼亚州20.530.670.2
连接端口直径进气口
西北40NW50NW50ISO160
排气口
西北40西北40西北40西北40
达到压力时的近似功率值千瓦0.71.71.73.1
N2流速帕·米³/秒19-22 (0)19-22 (3.4)19-22 (3.4)19-22 (3.4)
电源相数/电压/频率200V 型号
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
近似质量公斤90190190500




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