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EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂直销
EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂直销
ESR20N 是日本荏原 EBARA ESR 系列多级罗茨式水冷无油干式真空泵,专为半导体、光伏等中负荷真空工艺开发,属于节能型工艺干泵,兼顾洁净真空需求与连续生产稳定性,广泛用于晶圆锁腔、镀膜、等离子工艺等场景。
传统大型干泵普遍存在能耗高、体积庞大、控制简单、运维成本高的痛点,荏原 ESR 系列通过全新转子结构设计与直流无刷电机方案,相比传统交流电机干泵,在电力、冷却水、氮气消耗以及占地面积上都实现优化。ESR20N 最大亮点为50Hz/60Hz 频率下抽气性能保持一致,国内外产线改造、出口设备配套时无需重新评估泵的抽速性能,项目落地更加便捷。
泵体采用多级罗茨干式无油结构,泵内部无润滑油,从源头消除碳氢油雾污染晶圆、光学组件与真空腔体。在洁净气体工况下,ESR20N 不需要持续通入氮气轴封吹扫,减少配套供气系统投入与氮气消耗;如果工艺含有轻度腐蚀性气体,可升级镍基耐蚀合金材质选项,提升泵体抗腐蚀能力,拓展至轻度腐蚀工艺使用。
| 模型 | 单元 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 冷却水 | 流速 | 升/分钟 | 2-8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 温度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 电源 | 功率容量 | 千伏安 | 4 | 7 | 7 | 12.3 |
| 排气速度 | 升/分钟 | 1300~2000 | 3000 | 3000 | 46000 | |
| 极限压力 | 宾夕法尼亚州 | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 连接端口直径 | 进气口 | 西北40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排气口 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | ||
| 达到压力时的近似功率值 | 千瓦 | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| N2 | 流速 | 帕·米³/秒 | 19-22 (0) | 19-22 (3.4) | 19-22 (3.4) | 19-22 (3.4) |
| 电源相数/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 近似质量 | 公斤 | 90 | 190 | 190 | 500 | |

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