原装EBARA荏原 空冷干式真空泵 优势现货 EV-SA30 是日本 EBARA 荏原 EV-SA 系列空冷型无油干式真空泵，无需冷却水，仅接入电源即可运行，抽气速度 3300 L/min，50/60Hz 供电下抽气性能保持一致。标配气镇功能，可处理少量水汽与可凝性气体；内置智能控制系统，支持运行日志、报警履历存储，通讯接口齐全。

原装EBARA荏原 空冷干式真空泵 优势现货
原装EBARA荏原 空冷干式真空泵 优势现货

产品特点

1. 全无油干式结构：泵腔无润滑油，杜绝油气返流污染腔体、样品与光学元器件，保障洁净真空环境。

2. 空冷免水冷设计：无需外接冷却水、水管与冷水机，安装不受场地限制，避免漏水风险，实验室、检测机房部署简单。

3. 50/60Hz 性能不变：无论 50Hz 国内市电还是 60Hz 海外供电，抽气性能一致，国内外设备配套无需重新评估。

4. 内置气镇阀：开启气镇可抽除水蒸气与少量可凝气体，减少水汽凝结损伤泵体，拓宽适用工况。

5. 智能控制，通讯丰富：自带控制面板，可实时查看运行状态，自动保存运行日志、报警记录；数字 / 模拟信号接口齐全，支持上位机远程监控与联锁。

6. 低功耗低噪音：极限压力功耗仅 0.45kW，运行振动小、噪音低，适合室内精密设备环境。

7. 认证齐全：支持 CE、SEMI-S2、NRTL，满足科研项目、半导体检测设备出口验收。

技术参数

表格

应用领域

大型扫描电镜 SEM、X 射线分析仪器、质谱系统、氦检检漏设备、小型 Loadlock 锁腔、科研大型真空腔体、真空脱气、样品前处理真空系统、精密表面分析设备。

同系列型号参考

EV-SA20（1670 L/min）、EV-SA30（3300 L/min）、EV-SA50（5000 L/min）

规格