进口EBARA荏原 多级罗茨干式真空 代理商 EBARA 荏原 ESA70WN (-D) 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨泵研发制造经验打造，专为大容积真空腔体高速抽气设计

进口EBARA荏原 多级罗茨干式真空 代理商
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核心产品特点

1. 多级罗茨干式结构，洁净无油采用无油干式设计，泵腔内部无需润滑油，杜绝油雾回流污染真空腔体，满足半导体精密工艺、化工洁净制程对真空洁净度要求；泵体关键部位可选耐腐蚀材质，应对含微量腐蚀气体工况，延长设备使用寿命。

2. 智能转速自适应控制搭载转子转速智能调控功能，实时监测进气负荷动态调节转速，气体负荷波动时依旧维持稳定抽气能力，高负载工况下启用专属智能运行程序，适配 MO-CVD 大流量轻气体排气需求，节能效果突出。

3. 紧凑一体化设计，安装便捷采用大直径转子结构，在保证抽速前提下缩小整机占地面积，集成泵体、驱动、控制单元一体，无需复杂配套辅机，方便产线腔室配套集成；整机布局合理，日常检修维护点位集中，降低运维难度。

4. 完C善安全监测与报警系统配备 LCD 可编程控制器，支持故障预警、报警记录存储，操作人员可自定义报警阈值；具备丰富的设备联锁保护功能，出现超温、过载、压力异常等情况自动触发保护停机，规避工艺事故。整机满足 SEMI-S2、CE、NRTL 相关行业安全标准，符合国内外精密制造产线准入规范。

5. 丰富选配方案可按需选配有机溶剂制程专用排气组件、耐腐蚀腔体组件，拓展设备适用范围，适配化工有机废气、镀膜工艺溶剂蒸汽排气场景，一台泵可适配多种工艺工况改造需求。

技术参数

表格

详细产品介绍

ESA25-D 干式真空泵是荏原 ESA 系列中面向半导体薄膜工艺开发的主力中大型干式罗茨泵，该系列基于荏原数十年真空设备研发积累，重点攻克轻气体抽排难点，解决传统真空泵抽氢效率不足的行业痛点，广泛应用于 MOCVD 金属有机化学气相沉积、半导体外延 EPI 工艺，也是真空锁仓 Load-lock 快速抽真空的常用机型。

传统油封真空泵容易发生油返流，污染精密腔室，普通螺杆干式泵对氢气这类小分子轻质气体抽除效率有限，而 ESA25-D 多级罗茨结构，多级转子逐级压缩，大幅提升轻气体压缩与排出能力，在氢气为主的工艺尾气工况下，依旧保持稳定抽速，不会出现抽气衰减问题。设备采用干式无油结构，真空侧不存在润滑油，不会污染晶圆、试样、镀膜基材，契合半导体、新材料精密制备的洁净生产要求。

规格