EBARA荏原 大容积真空腔干真空泵 一级代理 EBARA 荏原 ESA200W 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列超大型大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨真空技术积淀打造，专为超大容积真空腔体高速抽气工况开发，主打大型 Load-lock、LCD 溅射、光伏薄膜

EBARA荏原 大容积真空腔干真空泵 一级代理
EBARA荏原 大容积真空腔干真空泵 一级代理

核心产品特点

1. 无油干式多级罗茨结构，洁净真空，轻气体性能强化多级罗茨无油干式设计，真空侧不使用润滑油，消除油返流污染风险，满足半导体精密制程高洁净真空要求。转子与气体流道专门优化，氢气等小分子轻质气体压缩排出效率高，长时间连续生产抽速无明显衰减。可选用耐蚀合金材质泵腔，应对微量弱腐蚀性工艺尾气，延长泵体使用寿命，适配 MOCVD 大流量氢气排气场景。HDF 版本对内部流道、轴承与散热系统进行强化升级，高气体负荷工况耐久度更高，适合 7×24 小时连续量产产线。

2. 智能自适应转速调控，高负荷稳定、节能降耗内置转子转速智能调控系统，实时采集进气压力、气体流量、泵体温度等运行参数，动态调节运行转速。工艺瞬时进气流量升高，自动提升转速保障快速抽气；低负荷待机阶段自动降速，减少电能消耗，配备高气体负荷专属运行程序，适配波动型工艺排气工况。可编程 LCD 控制器内置报警记录存储功能，可回溯历史故障信息，方便工程师快速定位、排查设备异常。设备自带通讯接口，支持对接上位机与产线 PLC 系统，实现自动化联动控制。

3. 大转子紧凑一体化集成，安装维护便捷采用大直径转子结构，在实现 8000/8400L/min 超大抽速的前提下，控制整机占地面积，泵体、驱动单元、电控模块一体化集成，无需额外配置复杂辅机，便于产线大型真空腔配套集成。整机采用模块化结构，检修点位集中布局，日常保养、易损零部件拆装更换简单，缩短产线停机维护时长，提升产线稼动率。

4. 安全联锁保护，符合国际行业安全标准配备可编程 LCD 控制器，操作人员可自定义各项报警阈值，搭载全套设备保护逻辑；当监测到泵体超温、电机过载、进气压力异常等故障时，自动触发联锁停机，规避工艺事故与设备损坏风险。整机满足 SEMI-S2、CE、NRTL 行业安全规范，可直接接入国内外半导体精密自动化产线，满足洁净厂房准入要求。

5. 丰富选配组件，拓展工艺适用范围可按需选配有机溶剂制程专用排气处理组件，适配含有机溶剂蒸汽的真空镀膜、有机物料真空干燥工艺；可选耐腐蚀腔体升级组件，应对含微量腐蚀组分的工艺尾气。依靠丰富选配方案，同一台真空泵可以适配多种工艺改造需求，设备通用性更强。

技术参数

表格

详细产品介绍

ESA80W-HDF 干式真空泵是荏原 ESA 系列面向大流量连续量产场景打造的主力大抽速机型，延续 ESA 系列针对轻气体真空的核心技术积累，HDF 版本重点强化高气体负荷下长时间连续运行能力，解决传统干式真空泵在氢气等小分子气体工况下抽气效率衰减、长时间高负载易老化的行业痛点，在半导体 MO-CVD 金属有机化学气相沉积、EPI 外延薄膜生长工艺拥有大量现场落地应用实绩，同时广泛用于超大型 Load-lock 真空锁仓快速抽真空作业。

传统油封真空泵极易产生油雾回流，污染腔体内的晶圆、薄膜基材；常规干式泵面对氢气等轻质气体，压缩困难，抽气能力会明显下降，难以维持连续稳定的真空工艺。ESA80W-HDF 多级罗茨泵依靠多级转子逐级压缩的结构，对转子间隙、气体流道进行精细化优化，HDF 版本强化散热、轴承与内部流道结构，大幅提升轻气体压缩与排出能力，在以氢气为主的持续工艺尾气排放工况下，依旧保持稳定抽速，不会出现性能衰减。干式无油的结构设计，让真空侧隔离润滑油，不会污染精密加工基材，契合半导体、新材料精密制备的洁净生产标准。

规格