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Nidec-Sankyo机器人伺服马达 原厂现货
Nidec-Sankyo机器人伺服马达 原厂现货
MM500N2KBL4 是日本 Nidec-Sankyo(尼得科三协)S-FLAGⅡ 平台下 MM 系列中惯量交流伺服马达,是面向半导体、光学面板洁净自动化设备开发的专用伺服产品。尼得科三协深耕半导体真空机器人驱动领域多年,S-FLAGⅡ 伺服体系经过大量晶圆设备现场验证,在洁净室、准真空环境下具备稳定可靠的运动控制能力,MM500N2KBL4 作为该系列小功率机型,主打轻量化、低发尘、平稳启停,专门适配真空传输模块 VTM、小型洁净机械手内部的小幅精密运动轴。
型号:MM500N2KBL4
品牌:Nidec-Sankyo 尼得科三协
额定功率:50W
额定扭矩:0.16N・m
瞬时最大扭矩:0.56N・m
额定转速:3000r/min,最高转速 6000r/min
额定电压:AC200~240V
额定电流:0.6A,瞬时最大电流 2.1A
转子惯量:中惯量
法兰规格:40mm 方形法兰
本体重量:约 0.4kg(无制动器)
编码器:内置高分辨率磁性绝对值编码器
输出轴:键轴输出,无刹车
配套驱动器:DA2YZ、DB6YZ 系列 S-FLAGⅡ 伺服驱动器
中惯量转子设计,抑制振动效果优异。相比低惯量电机,中惯量结构抗外部扰动能力更强,启停过程速度曲线平滑,可有效抑制机械手末端抖动,适合晶圆手臂短距离、高精度点位移动,减少基板晃动、碎片风险,满足半导体工艺对运动平稳性严苛要求。
洁净型低发尘结构。电机内部密封结构优化,特殊润滑油脂,运转过程中粉尘析出量极低,可直接安装在洁净室、真空传输腔体内部,不会污染晶圆、光学基板等精密工件,是半导体 VTM 真空传输模组的标配电机。
内置磁性绝对值编码器,环境适应性强。自研磁性编码器抗震动、抗水汽,相比光学编码器不易受粉尘影响,位置反馈持续稳定,上电无需原点复位,大幅简化设备控制逻辑,提升产线连续运行效率。
紧凑轻量化机身。40mm 小方形法兰,整机体积小巧重量轻,可嵌入机械手手臂狭小空间,不会过多占用真空腔体有限空间,方便设备结构设计与集成。无刹车版本进一步缩短电机总长,适合垂直负载不大的水平传输轴。
配套 S-FLAGⅡ 伺服驱动器,控制性能强C大。整套伺服系统支持自动共振抑制、自动增益调谐功能,可快速匹配机械结构特性,缩短设备调试周期;支持高速通讯,多轴同步运动精准,适配多关节机械手协同动作。
主要用于半导体晶圆真空搬运机器人、VTM 真空传输模块、光学玻璃基板洁净搬运设备,也可用于实验室精密位移平台、小型精密装配机械手、FPD 面板检测设备。在真空腔体内部、Class1/Class10 高洁净车间等场景,实现工件快速、平稳、高精度的转运定位。该型号为无刹车版本,适合水平运动轴选型;垂直负载场景建议选用带制动器的同系列型号,防止断电滑落。

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