SUMITA Lumirus-G9 绿色荧光玻璃，光学检测基材推荐

在半导体晶圆检测、准分子激光光束表征、荧光显微成像等精密光学系统中，紫外波段的探测效率直接决定了系统的检测灵敏度和成像质量。然而，常规硅基CCD/CMOS探测器在紫外波段（尤其深紫外区域）的量子效率显著下降，荧光涂层的均匀性和长期稳定性又难以满足高精度检测需求。如何在光学检测基材层面解决紫外-可见光转换的效率与可靠性问题，是系统集成商需要重点评估的选型课题。SUMITA住田光学的LUMILASS-G9绿色荧光玻璃，正是针对这一需求开发的固态波长转换基材。

光学检测基材的选型逻辑

光学检测系统对荧光转换基材的核心诉求可以归结为三点：转换效率、空间分辨率和长期稳定性。传统荧光涂层方案在这三个维度上均存在瓶颈——涂层与基底的结合力有限，热循环或振动环境下可能脱落；荧光粉体粒径带来的光散射会降低成像分辨率；有机粘结剂在紫外持续照射下易老化黄化，导致转换效率衰减。

LUMILASS-G9的技术路线是将荧光离子直接固溶在玻璃基体中。以铽离子（Tb³⁺）作为发光中心，通过熔融工艺使发光离子在氟磷酸盐玻璃网络中实现原子级均匀分散。这一结构从根本上改变了荧光材料的失效模式：没有涂层脱落问题，没有粉体团聚导致的分辨率损失，也没有有机粘结剂的老化机制。对于需要长期连续运行的半导体检测设备和精密光学仪器而言，基材级别的可靠性提升具有直接的工程价值。

Lumirus-G9核心技术参数解读

Lumirus-G9的主要光学参数如下：主发光波长为540nm，激发波长范围为140～390nm，最C低激发灵敏度约1μW/cm²，折射率（nd）为1.694。540nm的绿色荧光输出与硅基探测器的响应峰值区域匹配度良好，便于CCD/CMOS相机直接捕捉荧光信号。最C低激发灵敏度约1μW/cm²意味着在极微弱的紫外光条件下仍能输出可探测的可见光信号，这对半导体检测中的低剂量紫外光源场景具有实际意义。

140nm的激发下限是G9区别于R7的重要参数。R7的激发范围从200nm起步，而G9的激发下限延伸至140nm，使其能够响应真空紫外（VUV）区域的激发光。学术研究表明，Lumilass G9在157nm F₂激光激发下表现出了适用于光束轮廓分析和空间相干性测量的光谱发射特性，已被验证可用于157nm激光的光束表征和条纹记录。这意味着G9不仅适用于常规紫外检测场景，在深紫外准分子激光系统中同样具备应用价值。

在热学与机械性能方面，G9的转变温度Tg为660°C，线膨胀系数为73×10⁻⁷，维氏硬度Hv为765，杨氏模量为1140×10⁸ N/m²，比重为3.76。高Tg和低膨胀系数表明该材料在温度波动环境中尺寸稳定性良好，适合与精密光学系统集成。硬度值高于R7（Hv 633），加工时需要适当调整研磨抛光参数，但整体加工性与常规光学玻璃接近，可切割、研磨、抛光为薄片、基板或窗口片。

典型应用场景与选型要点

LUMILASS-G9的应用场景主要集中在以下几类：

准分子激光检测与光束表征。在F₂激光（157nm）等深紫外激光系统中，G9荧光板可将不可见的VUV光束转换为540nm可见光，配合CCD相机实现光束轮廓分析和发散角测量。选型时需注意，尽管G9的激发下限为140nm，但不同波长下的转换效率存在差异，157nm激发下的荧光饱和特性需要根据实际激光脉冲能量密度进行评估。

荧光显微镜与标准测试材料。LUMILASS系列荧光玻璃的发射光谱稳定、发光离子分布均匀，适合作为荧光显微成像系统的标准测试样品和校准基材。其无颗粒散射的特性有利于在需要精细空间分辨的成像应用中保持较高的分辨率。

紫外可视化与光学检测基材。在半导体晶圆缺陷检测、紫外光刻工艺监控等场景中，G9可作为紫外光转换窗口片，将紫外照明转换为可见光后由常规光学系统成像。

选型时需要重点核对三个参数：激发光源的波长是否落在G9的140～390nm区间内；540nm的发射波长是否与探测器的响应波段匹配；折射率1.694是否需要通过增透膜设计来减少与前后光学元件之间的界面反射损失。

玉崎科学仪器：原装供应与选型支持

在光学检测基材的采购环节，货源的稳定性和技术支持的深度直接影响用户的开发周期和系统可靠性。玉崎科学仪器（深圳）有限公司是日本科学器機株式会社全资设立的中国子公司，长期从事光学设备、科学仪器及电子计测产品的国内与国际贸易业务。公司对SUMITA住田光学系列产品保持常态化备货，近期已完成新一批光学玻璃材料的入库、检验和上架工作，LUMILASS-G9及相关荧光玻璃牌号库存充足，可正常接单发货。

玉崎科学仪器品牌负责人周可表示，公司不仅提供原装SUMITA产品，还可根据客户的光学系统设计需求，协助进行牌号匹配、规格确认和加工方案建议，帮助用户缩短从选型评估到系统集成的周期。对于需要G9样品测试、技术资料索