荏原EBARA多级罗茨干式真空泵 日本原厂供应 玉崎科学仪器（深圳）有限公司供应 EBARA 荏原 ESA500W 原厂正品干式真空泵，随机附带原厂说明书、出厂检测报告。可提供前期真空工艺选型评估、现场安装技术指导，设备交付后可配套定制维保方案。

荏原EBARA多级罗茨干式真空泵 日本原厂供应
荏原EBARA多级罗茨干式真空泵 日本原厂供应

核心产品特点

1. 无油干式多级罗茨结构，洁净真空，超大流量排气多级罗茨无油干式设计，真空侧不使用润滑油，消除油返流污染风险，满足高世代面板、光伏精密制程高洁净真空要求。转子与气体流道针对超大体积腔体快速抽气专门优化，大流量工况下抽速稳定，长时间连续生产无明显衰减。可选用耐蚀合金材质泵腔，应对微量弱腐蚀性工艺尾气，延长泵体使用寿命，适配大型溅射镀膜、大型真空干燥制程。

2. 智能自适应转速调控，超高负荷稳定、节能降耗内置转子转速智能调控系统，实时采集进气压力、气体流量、泵体温度等运行参数，动态调节运行转速。工艺瞬时进气流量升高，自动提升转速保障快速抽气；低负荷待机阶段自动降速，减少电能消耗，配备高气体负荷专属运行程序，适配波动型工艺排气工况。可编程 LCD 控制器内置报警记录存储功能，可回溯历史故障信息，方便工程师快速定位、排查设备异常。设备自带通讯接口，支持对接上位机与产线 PLC 系统，实现自动化联动控制。

3. 超大转子紧凑一体化集成，安装维护便捷采用超大直径转子结构，在实现 47000~50000L/min 超大抽速的前提下，优化整机结构控制占地面积，泵体、驱动单元、电控模块一体化集成，无需额外配置复杂辅机，便于产线巨型真空腔配套集成。整机采用模块化结构，检修点位集中布局，日常保养、易损零部件拆装更换简单，缩短产线停机维护时长，提升产线稼动率。

4. 安全联锁保护，符合国际行业安全标准配备可编程 LCD 控制器，操作人员可自定义各项报警阈值，搭载全套设备保护逻辑；当监测到泵体超温、电机过载、进气压力异常等故障时，自动触发联锁停机，规避工艺事故与设备损坏风险。整机满足 SEMI-S2、CE、NRTL 行业安全规范，可直接接入国内外高世代面板、光伏精密自动化产线，满足洁净厂房准入要求。

5. 丰富选配组件，拓展工艺适用范围可按需选配有机溶剂制程专用排气处理组件，适配含有机溶剂蒸汽的真空镀膜、有机物料真空干燥工艺；可选耐腐蚀腔体升级组件，应对含微量腐蚀组分的工艺尾气。依靠丰富选配方案，同一台真空泵可以适配多种工艺改造需求，设备通用性更强。

技术参数

表格

详细产品介绍

ESA500W 干式真空泵是荏原 ESA 系列面向高世代显示、光伏新能源行业超大腔体场景打造的旗舰大抽速机型，依托荏原成熟多级罗茨真空技术，专门解决巨型真空腔室抽真空速度慢、量产连续运行稳定性不足的痛点，在高世代 LCD 溅射镀膜、光伏薄膜沉积、超大型 Load-lock 真空锁仓、大宗物料大型真空干燥产线拥有大量现场落地应用实绩。

传统油封真空泵极易产生油雾回流，污染腔体内的大尺寸玻璃基板、薄膜基材；常规中小型干式真空泵面对超大容积腔体，抽气能力严重不足，泵 down 时间过长，直接拉低整条产线生产节拍。ESA500W 多级罗茨泵依靠多级转子逐级压缩的结构，对转子间隙、气体流道进行精细化优化，在大流量工艺气体持续排放工况下，依旧保持稳定抽速，极大缩短巨型腔体抽真空时间，显著提升产线生产效率。干式无油的结构设计，让真空侧隔离润滑油，不会污染精密加工基材，契合高世代面板、光伏新材料精密制备的洁净生产标准。

规格