EBARA荏原水冷防腐干式真空泵 玉崎科学代理 EBARA 荏原 EV-M20N 属于 EV-M 系列水冷式多级罗茨干式真空泵，专为会产生大量副产物、微量腐蚀性气体的重制程工艺打造，依托荏原在半导体真空领域多年技术积累，在 LPCVD、刻蚀、薄膜沉积等半导体工艺场景拥有大量稳定量产实绩。

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