EBARA多级罗茨水冷干式真空泵 荏原代理商 EBARA 荏原 EV-M102N 属于 EV-M 系列水冷式多级罗茨干式真空泵，是针对半导体行业**大量固体副产物、卤素腐蚀性气体**严苛重制程开发的主力机型，依托荏原在半导体真空领域多年的工艺技术沉淀，广泛适配 LPCVD、PECVD、ALD、干法刻蚀

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