玉崎科学代理 OTSUKA MCPD 系列 大塚电子膜厚光谱分析仪化工检测详解

产品系列概述：MCPD——瞬间多通道分光光谱仪旗舰系列

MCPD系列是日本大塚电子株式会社（OTSUKA ELECTRONICS）推出的瞬间多通道分光器旗舰产品线，是从紫外到近红外领域对应的多功能多通道分光检测器。该系列以瞬间多通道测光技术为核心，可在极短时间内完成全波段光谱的同步采集。

MCPD系列拥有两个系列、共达9个波长范围的检测器型号，可根据客户需求与测量用途选择适合的检测器。核心型号包括：

二、膜厚测量原理与技术优势

测量原理：分光干涉方式

MCPD系列膜厚测量的核心原理为分光干涉方式——利用光学干涉现象，通过分析薄膜表面与界面反射光的光谱干涉图样，精确计算薄膜厚度。这一原理具有以下核心优势：

• 非接触·非破坏性测量：无需接触样品，不损伤薄膜表面

• 高测量再现性：采用大塚电子独自算法，可实现高速实时监控

• 多层厚度测量支持：可同时测量多层薄膜结构

• 不易受基膜上下移动影响：测量精度高，适合在线生产环境

核心技术优势

1. 宽动态范围与低杂散光

MCPD-9800作为旗舰机型，实现了宽动态范围和低杂散光功能，适于高精度紫外定量评估、量子效率测量、在线测量为首的所有高精度测光系统。

2. 高速·高感度测量

利用512ch或1024ch检测单元与检测器内部存储器，MCPD-9800机型可实现最短5毫秒（5ms） 的光谱测量。嵌入式膜厚测试型更可达到最短1ms的曝光时间。

3. 柔性光纤系统，灵活嵌入

采用柔性纤维光学系统，可轻松组装到半导体工艺装置中。标准配置的光纤不受样品形状和大小约束，可搭建更自由的光学系统。

4. 通信接口支持USB和LAN

具备通用USB端口及满足远程遥控测量的LAN通信功能，支持远程测量。

三、核心型号与膜厚测量规格详解

MCPD-9800 旗舰机型规格

MCPD-9800为瞬间多通道分光器MCPD系列的高级机型，与旧机型相比实现了宽动态范围、低杂散光、更高速、更高再现性。

数据来源

MCPD-9800支持膜厚/反射/透过/相位差测量，部分型号还支持色测量功能。光斑直径为φ1.2mm。

MCPD-6800 机型规格

数据来源

MCPD-6800支持膜厚/反射/透过/相位差/色测量全功能。

四、化工行业典型应用场景

1. 薄膜与功能性膜材料检测

MCPD系列可测量的膜材料类型极为广泛：

• 树脂膜：PET、PP、PE、PC、Nylon等各类高分子薄膜

• 功能性薄膜：光学薄膜、包装膜、机能性薄膜

• 涂布膜：Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂

• 半导体晶圆膜：氧化膜、氮化膜、光阻膜

• 其他：光碟片膜层、薄膜磁头、感光鼓膜厚度

2. 在线生产质量监控

MCPD系列支持在线测量，可集成到生产线进行实时质量监控：

• 卷对卷（Roll to Roll）高速在线膜厚监控：实际案例中，MCPD-9800已在150m/min和200m/min的极限速度下稳定运行

• 嵌入式膜厚测试：适用于CMP工艺、蚀刻工艺、成膜工艺等过程中的膜厚终点检测

• 多点测量：支持TD方向多点膜厚分布测量

3. 光学特性综合评估

通过与软件组合，MCPD系列可对应物体颜色评价、膜厚测定、反射/透过/吸收光谱测量等多种评估项目：

• 反射特性测量

• 吸收测量

• 显微分光测量

• 发光/荧光测量

4. 功能性薄膜品质管理

MCPD系列广泛应用于功能性薄膜的品质管理，如HC（硬涂层）、AR（减反射膜）、ITO（透明导电膜）、燃料电池、锂电池等功能薄膜的质量控制。

五、玉崎科学——大塚电子中国区授权代理商

玉崎科学仪器（深圳）有限公司为京都玉崎集团旗下专注科学仪器的子公司，已正式成为日本OTSUKA大塚电子在中国市场的授权代理商。

代理范围与服务内容

• 全系列产品代理：负责大塚电子全系列光学测量仪器在中国区的销售、技术支持与售后服务

• 服务网络：依托京都玉崎在深圳、苏州、北京、成都等地的分支机构，提供本地化服务

• 选型支持：凭借MCPD系列共9个波长范围的检测器阵容，为客户推荐适合需求和测量应用的检测器

• 定制化系统：丰富的附属配件、选配单元和分析软件，可根据客户需求提供定制化“优系统"

可靠性保障

MCPD系列满足日本工业标准JIS Z 8724（颜色测量方法——光源色） 对分光测光器的全部精度要求：

• 波长准确性：偏差在±0.3nm以下

• 测光线性（强度比2:1）：直线偏移在±0.5%以内，再现性0.2%以内

• 测光线性（强度比10:1）：直线偏移在±1%以内，再现性0.5%以内

• 杂散光：450nm/500nm/650nm处1.0%以下

大塚电子的光计测实验室已获得JCSS（日本校正事业者协会）认证，可提供符合国际MRA（相互承认协议）的光学可追溯校准服务。