ULVAC DIS 系列大流量涡旋泵｜玉崎科学供应爱发科 DIS-501 干式真空泵

一、系列概述：DIS系列的双绕式涡旋技术

ULVAC（爱发科）DIS系列是采用双绕式涡旋结构的干式真空泵系列，含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。其核心工作原理是通过固定螺旋壁与从动螺旋壁之间的偏心运动来实现气体的吸入、压缩和排出。

与DISL系列（单绕式，侧重耐粉尘和水蒸气处理）不同，DIS系列的核心优势在于更高的极限真空度和更大的排气量，适用于对真空度要求更为严苛的工艺场景。

DIS系列主要型号包括：

二、DIS-501核心规格详解

DIS-501是DIS系列中的大流量旗舰型号，其详细技术参数如下：

排气性能：

• 设计抽速：500 L/min（50Hz）/ 600 L/min（60Hz）

• 极限压力：1.0 Pa（达到干式真空泵的最高压力水平）

• 水蒸气处理量：≤25 g/day（AF开启时，室温25℃、湿度60%以下）

电气规格：

• 单相电源：100/115/200/230V，600W，4P，电容器启动/运行

• 三相电源：200/208/230/380/400/415/460V，600W，4P

• 全负荷电流（单相）：8.5/4.3/3.9A（100/200/230V）

物理参数：

• 吸气口径：KF-40 | 排气口径：KF-25

• 重量：单相44kg / 三相38kg

• 外形尺寸（单相）：290(W)×443(L)×397(H) mm

• 使用环境温度：5～40℃

• 噪音水平：单相≤62dB / 三相≤60dB（AF开启时≤70/68dB）

三、关键技术特点

1. 双绕式涡旋结构
含1根轨道螺旋和2根固定螺旋，相比单绕式结构可实现更高的压缩比和极限真空度。主要部件经过特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。

2. 大气压下直接启动
可在大气压下直接操作运行，无需预抽真空，大幅简化了系统设计和操作流程。

3. 空气冲洗（Air Flash）功能
通过空气冲洗操作，不仅能有效排出泵内残留的水分，还具有恢复极限压力的效果。这一功能对抑制水蒸气凝结尤为关键。

4. 安全设计
单相规格内置自动复位型热保护器。三相规格虽无电机保护功能，但建议安装漏电断路器等保护装置。产品已通过cTUVus国际第三方安全认证。

5. 维护便捷
维护周期可通过计时表控制，便于制定预防性维护计划。

四、典型应用领域

DIS-501凭借其大流量和高真空特性，广泛应用于以下场景：

• 半导体制造工艺：刻蚀设备、灰化设备、等离子清洗设备等真空排气系统

• 分析设备：质谱仪、电子显微镜等精密分析仪器的真空系统

• 真空热处理：烧结炉、渗碳炉等热处理设备的真空排气

• 锂电池制造：电极干燥设备、脱气设备、注液设备等

• TMP（涡轮分子泵）的前级泵：为高真空系统提供预抽

• 氦气检漏仪：检漏系统的真空源

• 涂装设备：真空涂装工艺

• 气体回收系统：工艺气体的回收与循环

五、选型建议

在选择DIS系列产品时，建议根据以下维度进行评估：

六、供应与服务：玉崎科学的专业支持

玉崎科学仪器（深圳）有限公司已正式成为日本ULVAC爱发科的授权代理商，双方致力于将ULVAC的高品质真空技术产品高效导入中国市场。玉崎科学在真空泵领域积累了丰富的产品经验，覆盖涡旋式、螺杆式、多级罗茨式等多种干式真空泵品类。

选择玉崎科学作为DIS-501的供应伙伴，可获得以下专业服务：

• 正品保障：原厂授权代理，确保产品来源正规可靠

• 现货供应：多款型号常备库存，缩短交付周期

• 专业技术支持：依托ULVAC的真空技术背景，提供选型咨询与售后支持

• 产品线齐全：除DIS系列外，还可提供ULVAC全系列真空泵、真空阀门、检漏仪及真空测量仪器等配套产品

如需获取DIS-501的详细报价、技术资料或选型支持，可通过玉崎科学仪器（深圳）有限公司进行咨询。