玉崎科学代理荏原 EV-SA 系列，空冷干式真空泵可询价

玉崎科学代理荏原 EV-SA 系列，空冷干式真空泵可询价。

摘要： 荏原 EV-SA 系列风冷干式真空泵覆盖 1,670–5,000 L/min 抽速区间，无需冷却水，仅接电源即可运行。本文从抽速、压力需求、安装空间和工况兼容性四个维度，对 EV-SA20、EV-SA30、EV-SA50 三款机型进行选型对比，帮助半导体、分析仪器、锂电及镀膜领域的采购人员梳理选型思路。

一、EV-SA 系列的定位

EV-SA 系列属于荏原风冷小型干式真空泵产品线，与 EV-A 系列同属“无需冷却水"的设计路线，抽速覆盖 1,670–5,000 L/min，面向清洁、轻载的抽气场景。荏原对该系列的官C方描述是“风冷干式真空泵，具有紧凑设计，无需冷却水……唯C一需要的公用设施是电源"，适合分析仪器、电子显微镜等清洁抽气用途。

需要明确的是，EV-SA 系列面向清洁工艺气体——洁净空气、氮气、少量水蒸气及轻度有机溶剂蒸汽。标准型号未配备强耐腐蚀结构，不适用于强酸、强碱、卤素气体或大量可凝性液体的工况。如果工艺中存在腐蚀性气体或副产物沉积风险，需要转向荏原耐腐蚀型号。

二、三款机型核心参数对比

根据荏原公开规格数据：

三款机型的电源规格一致，均支持单相和三相 200–240V 输入，电压允许波动 ±10%，50Hz 与 60Hz 下抽气性能相同。这意味着供电条件不构成选型差异，选型的核心变量是抽速和极限压力。

EV-SA50 在极限压力上与前两者差距明显：0.5 Pa（气镇关）的指标使其能够胜任对腔体本底真空要求更高的工序，而 EV-SA20 和 EV-SA30 的 2–3 Pa 级别更适合预抽、粗抽或对真空度要求相对宽松的洁净抽气场景。

三、按应用场景拆解选型逻辑

第一步是确定所需抽速。 抽速选小了，工艺节拍跟不上；选大了，采购成本、泵体尺寸和重量都会显著增加。EV-SA20 的 1,670 L/min 适合小型腔体、分析仪器前级和电子显微镜等低气载场景。EV-SA30 的 3,300 L/min 居中，适合中等规模的预抽腔、等离子清洗腔和半导体量测设备。EV-SA50 的 5,000 L/min 覆盖小型负载锁的快速粗抽、光伏小型腔体以及锂电材料真空脱气等需要较大气体吞吐量的工序。

第二步是判断极限压力是否满足工艺要求。 如果工艺腔体的本底真空目标在 5 Pa 以上，EV-SA20 或 EV-SA30 即可满足。如果目标接近 1 Pa 或更低，EV-SA50 是系列内能够覆盖这一区间的型号。需要注意，标注的极限压力是在气镇关闭条件下测得的；如果工艺气体含有水蒸气或可凝性组分，气镇阀通常需要开启，此时实际可达到的极限压力会有所升高。选型时应以气镇开启后的压力值作为参考基准。

第三步是核验安装空间和重量。 EV-SA20 重量为 65 kg，是三款中重量较轻的型号；EV-SA30 为 90 kg；EV-SA50 为 150 kg，尺寸也明显增大。如果泵需要安装在设备机台内部或空间受限的位置，EV-SA20 的 324×584×347 mm 机身具有更好的嵌装适配性。EV-SA50 的 317×650×538 mm 尺寸虽然底面积不算大，但高度增加了近 200 mm，需要预留足够的垂直空间和散热间隙。

第四步是确认工况气体是否在兼容范围内。 三款机型均标配气镇阀，具备一定的水蒸气耐受能力，适合水汽含量偏高的轻负荷工艺。但如果工艺气体中含有腐蚀性成分或大量粉尘，EV-SA 系列的标准配置不是适配选项。

四、应用场景与型号对应建议

分析仪器与实验室场景（电子显微镜、质谱、氦检漏、XRD、冻干机、手套箱等）：气载通常较小，对噪音和振动敏感。EV-SA20 的 1,670 L/min 抽速和 65 kg 轻量化机身是这一场景的适配选择；若实验室同时服务多台分析仪器或腔体略大，可升级至 EV-SA30。荏原将 EV-SA 系列定位为“非常适合清洁泵送应用，如各种分析仪和电子显微镜"。

半导体轻载洁净工序（Load-Lock 预抽、量测检测设备、SEM 腔体）：Load-Lock 需要在大气压至中真空区间快速完成抽气循环，抽速是主要考量。EV-SA30 适合中小型 Load-Lock，EV-SA50 适合抽速要求更高的负载锁或稍大的传输腔。荏原的通用真空产品资料中也将 EV-SA 系列列为 Load-Lock 的适用型号。

光学镀膜与等离子清洗：这类工序的预抽腔通常需要洁净粗真空，且腔体尺寸中等。EV-SA30 是较为均衡的选择，兼顾抽速和占地。

锂电材料真空脱气与干燥：脱气工序的气体负荷中常含有水蒸气，气镇功能是必要配置。EV-SA50 的 5,000 L/min 抽速适合中大型脱气腔体，三款机型标配的气镇阀均能提供水蒸气处理能力。

光伏小型腔体与研发设备：抽速需求跨度较大，建议根据腔体容积和工艺节拍反算所需抽速后，在 EV-SA30 和 EV-SA50 之间选择。

五、采购渠道与选型支持

风冷干式真空泵的选型不是单纯的参数对比。同样的抽速指标，在不同腔体容积、不同工艺气体负载、不同抽气时间要求下，适配的型号可能完C全不同。建议在采购前明确以下信息：腔体净容积、目标工作压力、抽气时间要求、工艺气体成分、是否含水蒸气或可凝性组分、安装空间限制。

玉崎科学仪器（深圳）有限公司是日本科学器機株式会社全资设立的中国子公司，已与株式会社荏原制作所签署代理协议，成为 EBARA 荏原中国地区授权代理商，负责干式真空泵等产品的市场推广与销售服务。公司在深圳设有仓库，EV-SA 系列主流机型常备库存，可提供选型咨询、技术培训及售后维护支持。

采购咨询请联系：

• 品牌代理商：玉崎科学仪器（深圳）有限公司

• 负责人：周经理

• 服务范围：EBARA 荏原全系列干式真空泵的销售、选型匹配、技术培训及售后维护

在 EV-SA 系列的选型中，抽速匹配是第一优先级，极限压力是第二道筛选条件，安装空间和工况兼容性则是最终的落地约束。三者交叉之后，适配的型号通常只剩一到两款。将工艺参数提前梳理清楚，可以让选型沟通的效率大幅提升。