半导体应力检测方案 中讯半导体选用 LSM‑4411LE 偏振光应力仪

近日，中讯半导体（江苏）有限公司（以下简称“中讯半导体"）宣布采购日本LUCEO（株式会社ルケオ）LSM-4411LE偏振光应力仪，用于半导体晶圆及透明器件内部应力的精密检测与质量控制。该设备由玉崎科学仪器（深圳）有限公司（以下简称“玉崎科学"）供应，凭借极C具竞争力的价格与稳定的货期保障，助力中讯半导体顺利完成本次检测设备的引进工作。

中讯半导体成立于2022年10月，位于江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区，是一家专注于半导体器件专用设备制造、集成电路芯片及产品制造、电子专用材料研发等领域的高新技术企业。公司主营声表面波器件、微波组件及模块等产品的研发、设计、制造与销售，产品广泛应用于移动通信、卫星导航、雷达通讯及航天军工等领域。随着半导体器件向高精度、高可靠性方向持续演进，晶圆及透明封装材料内部的残余应力控制已成为影响产品性能与良率的关键环节。此次采购LSM-4411LE偏振光应力仪，是中讯半导体强化品质管控、提升工艺水平的重要举措。

LSM-4411LE偏振光应力仪由日本专业光学检测厂商LUCEO研发制造，隶属LSM-4000LE系列大视野偏振应力检测仪。该仪器基于光弹性偏光干涉法，搭载敏锐色法与塞拿蒙（Senarmont）定量测量法双模式，可对透明材料内部应力、应变分布进行直观观测，同时定量读取光延迟值。其原理在于将材料内部应力转化为彩色干涉条纹，通过条纹形态与色彩变化实现应力有无、分布状态及应力方向的精准解析。

在核心规格方面，LSM-4411LE具备200×200mm的大视野偏光片有效区域，可一次性完整观察大尺寸晶圆、光学面板及透明器件，无需分次移动工件，大幅提升检测效率。分析仪有效口径为φ80mm，配备3000K白光LED光源，光线均匀无频闪，长时间检测不易疲劳。整机尺寸为宽280×深375×高430mm，重量12kg，支持AC100-240V宽电压供电，适配国内车间及实验室多种用电环境。此外，仪器标配高度调节机构，高低不同的工件无需额外垫片即可平稳放置，避免倾斜造成的观测误差。

在检测模式上，LSM-4411LE支持一键切换：敏锐色法可用于快速定性筛查，直观判断应力有无、分布形态及应力集中区域；塞拿蒙法则通过旋转检偏器读取相位延迟量，实现应力大小的精准量化与慢轴方向判定。两种模式二合一，一台设备即可完成从批量初筛到不良品精准计量的全流程检测需求。

本次采购由玉崎科学仪器（深圳）有限公司提供全流程供应服务。玉崎科学是日本科学器機株式会社全资设立的中国子公司，专业从事光学设备、电子计测仪器、科学仪器等产品的国内及国际贸易业务。公司凭借优秀的渠道管理能力、可控的交期和匹配的物流体系，为客户提供极C具竞争力的价格以及全C方位的技术支持。依托深圳仓库的现货储备与高效的供应链管理，玉崎科学确保了LSM-4411LE的快速交付，有效缩短了中讯半导体的设备引进周期。

对于半导体行业而言，晶圆及透明封装材料在长晶、切割、研磨、封装等工艺环节中极易产生残余应力，若未能有效检测与控制，将直接影响器件的电学性能与长期可靠性。LSM-4411LE偏振光应力仪可广泛应用于晶圆、光学玻璃、石英基板等透明半导体材料的应力检测。其非破坏性的检测方式尤为适合半导体精密制造场景——在不损伤样品的前提下完成内部应力评估，既保障了产品品质，也降低了检测损耗。

中讯半导体此次通过玉崎科学引进LSM-4411LE偏振光应力仪，将有效提升公司在半导体晶圆及透明器件应力检测方面的精度与效率。通过敏锐色法快速筛查工艺异常、通过塞拿蒙法精准量化应力数值，为工艺优化与质量管控提供可靠的数据支撑。未来，中讯半导体将持续加大在精密检测与过程控制领域的投入，以更高标准推动半导体器件国产化进程，为客户提供更加优质可靠的产品与服务。