玉崎科学仪器代理TORAY东丽LD-600/SD高耐久氧化锆氧浓度传感器新品推介

近期我司新推出升级了日本TORAY东丽LD-600/SD高耐久氧化锆氧浓度传感器，该产品由玉崎科学仪器（深圳）有限公司正式代理，面向半导体真空工艺、高温炉窑及惰性气氛控制等场景，为高精度氧含量在线监测提供兼具耐久性与通信集成能力的传感器方案。

高耐久设计：特殊涂层与保护机制

SD系列传感器的核心优势在于长期稳定性。氧化锆传感器在高温工况下易受样气中硅蒸气、油雾、卤素及助焊剂挥发物的侵蚀，导致电动势漂移甚至失效。LD-600/SD在传感器表面采用特殊涂层，形成化学屏障，在不影响氧离子传导的前提下降低腐蚀性成分与活性区域的接触概率。同时，传感器配备保护机构，通过过滤器捕获油雾、硅气体和卤素等劣化成分，使常规使用寿命可达2至3年，减少半导体镀膜设备、真空炉等场景中的非计划停机。

直插式与真空兼容：快速响应，无需采样

传感器采用直插式安装，可通过ISO真空法兰NW16、NW25、NW40或R3/8螺纹直接插入真空腔体或管道，无需外接采样泵和管路。这一设计消除了采样系统带来的泄漏点和响应延迟，在高温、流量稳定的条件下，T90响应时间可控制在5秒以内。分离式结构使转换器可安装在电控柜内，传感器直接置于工艺气氛中，兼顾了安装灵活性与测量实时性。

EtherCAT通信：融入工业控制系统

LD-600转换器支持EtherCAT工业以太网通信（IEC 61158，支持CoE和FoE），可直接将氧浓度数据集成到设备主控PLC或上位机中，避免了模拟信号长距离传输的衰减和干扰。同时保留4~20mA模拟输出和2路报警接点，适配不同现场需求。转换器尺寸紧凑（65×130×125mm，约0.8kg），支持壁挂或盘装，连接线标准2m，最长可扩展至10m。

关键规格一览

典型应用场景

LD-600/SD广泛应用于半导体溅射、沉积和退火设备的真空腔体残氧监测；冶金与陶瓷行业650℃至1700℃高温窑炉的氧浓度控制；手套箱、金属3D打印设备等惰性气氛下的氧含量在线分析。直插式设计尤其适合安装空间受限的真空设备与密封炉。

关于玉崎科学仪器（深圳）有限公司

玉崎科学仪器（深圳）有限公司是日本科学器機株式会社在中国设立的全资子公司，已正式成为日本TORAY东丽在中国地区的授权代理商。公司长期经营光学设备、电子计测仪器及科学仪器，依托深圳总部及北京、上海、苏州、重庆、成都等多地服务网络，为半导体、光伏、冶金及化工领域客户提供选型咨询、样品测试和售后校准服务。

如需了解LD-600/SD的详细配置、传感器法兰选型或获取报价，可直接联系玉崎科学仪器（深圳）有限公司相关负责人周可。