半导体药液脱气 DIC 迪爱生 EF-AG3，纯水脱气选用 EF-G3｜玉崎科学

DIC SEPAREL 的 EF 小型外灌流系列里，EF-AG3 与 EF-G3 是一对容易被“看混"的型号：两者的推荐流量一致，耐压、接口规格也落在同一档，从参数表上一眼扫过去几乎没有差别。但介质一换，选型逻辑就分岔了——EF-AG3 面向含表面活性剂的半导体药液与精密化学液，EF-G3 则是纯水与清洁水性体系的标准脱气款。两者共享外部灌流的基本架构，差异不在“通量大小"，而在膜表面与介质之间的相容性。玉崎科学仪器（深圳）有限公司作为 DIC 迪爱生 SEPAREL 系列的供应渠道，对 EF-AG3 与 EF-G3 均提供品牌优势供应，便于在选型阶段对照工况确认型号。

并列参数：看起来相似的两组数字

上述流量基准为真空度 2.7 kPa。两组数字的接近程度说明：EF-AG3 与 EF-G3 在“单位时间能处理多少液体"上处于同一量级，选型的决定因素不在通量，而在液体里有什么。

EF-AG3：SS 膜是“含表面活性剂药液"的准入条件

半导体药液脱气的难点，很少是“水脱不掉气"，而是液体本身改变了膜面的润湿行为。光刻胶配套的显影液、SC-1 清洗液、CMP 研磨液以及含氟表面活性剂的湿法药液中，表面活性剂会显著降低液体的表面张力。普通微多孔膜一旦被这类液体润湿，液相侵入膜孔，真空侧与液体侧之间就失去了气路选择性——脱气不是“效率下降"，而是功能中断。

EF-AG3 搭载的 SS 膜（表面致密皮层中空纤维膜） 以选择性渗透而非微孔截留实现气液分离：致密表皮层允许气体分子通过，液体本身不穿膜。这一机制使含表面活性剂药液在膜丝外侧流动时，不会因润湿剂、分散剂的存在而破坏真空侧的脱气功能。与此同时，SS 膜对水蒸气透过的抑制作用，也降低了真空回路中冷凝水累积对脱气稳定性的拖累。

在半导体相关场景中，EF-AG3 的落点集中在中小流量湿法支路：晶圆单片清洗的 SC-1 类药液循环、面板彩色光阻涂布供液、光学膜涂布前的在线除气，以及作为微量氧分析仪（如东丽 LC 系列）的前置脱气单元，脱除样液中的溶解氧和水汽，避免传感器受潮或读数漂移。它的容量不适合承担量产线的主回路大流量脱气，但在精密设备入口或分析取样管路中，SS 膜的耐润湿特性是“能不能持续运行"的前置条件。

需要划清的边界是：EF-AG3 的耐受性面向含表面活性剂的水系或弱酸碱药液。资料明确提示其不耐 HF、浓强酸强碱以及 NMP 等强有机溶剂，含溶剂体系的药液应转向 PF-F 氟系系列。把 EF-AG3 当作“通用耐化学膜"来用，是半导体药液选型中最需要避免的偏差。

EF-G3：纯水脱气的标准解，不必为“表活耐受"付费

EF-G3 在 EF-Small 谱系中的定位是 G 系列——水与普通水性体系的标准款。它的核心使命是在超纯水、锅炉补给水、清洗用功能水等清洁液体中实现 ppb 级脱氧与脱碳酸，并通过致密表皮层将真空侧水蒸气透过控制在较低水平。

当介质是纯水或低表面活性剂含量的清洁水性体系时，EF-G3 提供的工程价值是充分的：500/1,200 mL/min 的容量覆盖小型纯水支路和在线脱气节点，Rc1/8 螺纹接口便于串入管路，0.2 MPa 的耐压与 5～45 ℃的温度窗口匹配绝大多数常温水处理单元。与 EF-AG3 相比，EF-G3 的尺寸在长度上更短（141 mm vs 159 mm）、直径略大（φ45 mm vs φ42 mm），在安装空间受限但管径裕度稍宽的位置，这一差异可以作为辅助判断。

反过来，如果纯水体系中偶然存在微量表面活性剂残留（例如清洗工序切换时的管路夹带），EF-G3 的余量不如 EF-AG3。但若工艺明确为清洁水性介质，为 SS 膜支付额外成本并不会带来对应的工程收益。纯水用 G3，含表活药液用 AG3，这是两个型号之间最简洁的分工线。

共同的工况约束：0.2 MPa 与“外灌流不反冲"

无论选择 EF-AG3 还是 EF-G3，有两条边界是一致且需要认真对待的。

耐压 0.2 MPa 是硬上限。 两个型号的液体侧耐压均标称 0.2 MPa，低于 PF 内灌流系列常见的 0.3 MPa。部署在泵出口或存在压力脉动的管路上时，应在膜组件上游考虑缓冲或泄压措施，避免瞬态超压损伤中空纤维。

外灌流结构不支持反向冲洗。 EF 系列的优势是低压损与紧凑集成，但液体走膜丝外侧的结构决定了它不具备 PF 内灌流那种通过反向通液恢复内腔堵塞的能力。如果药液或纯水中颗粒负荷不可忽略，应在膜组件上游配置预过滤，而不是指望膜本身承担颗粒截留和清洗恢复的功能。EF-AG3 的 SS 膜解决的是表面活性剂引起的润湿失效，并非颗粒污染问题。

选型判断路径

回到标题中的分工：半导体药液脱气选 EF-AG3，纯水脱气用 EF-G3。实际操作中可以沿以下顺序确认：

第一问：液体中是否含有发挥功能的表面活性剂？ 如果介质是含润湿剂、分散剂或氟素表活的显影液、清洗液、光阻配套药液，SS 膜是维持脱气功能持续性的必要条件，选 EF-AG3。如果是纯水、超纯水或表面活性剂含量可忽略的清洁水性体系，EF-G3 的容量与接口规格已经覆盖需求。

第二问：流量落在哪个区间？ 两者在 80% 脱气率下均为 500 mL/min、50% 脱气率下均为 1,200 mL/min。若实际需求显著超过这一容量，应考察 EF-G4（1,000/2,000 mL/min）或 EF-AG5，而非将 EF-AG3/G3 按最大流量极限取用。

第三问：是否存在强溶剂或高颗粒负荷？ 含 NMP、浓酸浓碱或强有机溶剂的药液，EF-AG3 的耐受边界并不覆盖，需转向 PF-F 氟系系列。颗粒负荷不可忽略时，外灌流结构需要在膜前增设预过滤。

玉崎科学仪器（深圳）有限公司对 DIC EF-AG3 与 EF-G3 提供品牌优势供应，可依据上述介质与工况条件协助完成型号确认与供货衔接。对于半导体湿法药液的含表活脱气需求，EF-AG3 以 SS 膜结构回应润湿失效这一核心变量；对于纯水体系的常规脱气，EF-G3 在相同流量档位上提供不附加冗余成本的标准化选项。负责人周经理可对接具体型号的供应咨询与工况适配确认。