大冢电子 OPTM 膜厚检测仪 玉崎科学展会现场展示

近日，玉崎科学仪器（深圳）有限公司携日本大冢电子（OTSUKA）OPTM系列显微分光膜厚仪亮相行业展会，现场展示该产品在半导体、FPD显示及光学薄膜等领域的膜厚检测解决方案。

展会现场，OPTM系列显微分光膜厚仪进行了实机演示。该产品采用非接触、非破坏式测量方式，单点对焦加量测可在1秒内完成，最小测量光斑约3μm，能够满足微小区域的膜厚分析需求。设备覆盖紫外至近红外波段，可测量多层薄膜厚度及光学常数（折射率n、消光系数k），膜厚测量范围涵盖1nm至92μm（视型号不同）。其专C利技术可针对透明基板去除背面反射干扰，实现膜厚测量，对具有光学异向性的膜层或SiC等样品同样适用。

据了解，OPTM系列提供自动XY平台型、固定框架型及嵌入头型等多种规格，嵌入型可集成于客户产线系统，适用于晶圆图案化后的微小区域膜厚映射测量。该产品应用领域涵盖半导体（硅、碳化硅、砷化镓等）、FPD（LCD、TFT、OLED）、光学材料（滤光片、抗反射膜）以及功能薄膜（AR膜、HC膜、PET膜）等多个方向。

玉崎科学仪器（深圳）有限公司作为日本科学仪器株式会社全资设立的中国子公司，专业从事光学设备、电子计测仪器、科学仪器等产品的销售与服务，目前已代理日本大冢电子、日陶NIKKATO、柴田科学等多个品牌，在国内建立了覆盖深圳、苏州、北京、成都等地的服务网络。公司依托本地化技术支持团队，为客户提供从选型咨询到售后维护的服务支持。

采购选择玉崎科学仪器（深圳）有限公司，品牌负责人周可。周可及其团队可为客户提供OPTM系列膜厚检测仪的产品选型、应用沟通与售后对接服务。