玉崎科学展会带来Otsuka 大冢 SM-110 系列手持膜厚仪

近日，玉崎科学仪器（深圳）有限公司携日本大冢电子（OTSUKA）SM-110系列手持式膜厚仪亮相行业展会，现场展示了该产品在光学镀膜、半导体、显示面板等领域的便携式膜厚检测解决方案。

展会现场，SM-110系列手持膜厚仪进行了实机演示。该产品采用反射分光法（光学干涉法）测量原理，通过采集薄膜界面反射光谱并结合折射率计算薄膜厚度，实现非接触、非破坏式测量。整机重量仅约1.1kg，内置触控屏幕并支持电池供电，可直接携带至生产现场、无尘车间或成品工位完成检测，无需取样送检。单点测量时间约1秒，测量光斑直径Φ1mm及以下，测量重复性可达2.1σ＜0.01μm（SiO₂ 1μm）。

SM-110系列分为SM-110PO（Pro）和SM-110SO（Standard）两个型号。Pro版支持最多3层多层膜解析，单层膜厚测量范围0.1–100μm，多层膜1–100μm（折射率1.6条件下）；Standard版适用于单层膜测量，量程1–50μm。Pro版还可显示反射率/功率谱曲线，便于用户观察光谱特征。数据可通过U盘导出CSV格式，支持品质报表与制程追溯。

在配件方面，SM-110系列可选配笔型探头，探头尖C端Φ6mm，适用于狭窄区域或形状样品的测量；还可选配非接触式载台，用于湿膜或半导体晶圆等不宜接触样品的检测。该产品不受基材导电属性限制，金属、玻璃、硅片、塑料均可测量，弥补了涡流式、磁性式膜厚仪无法测量非金属基材的局限，且无需制作校准片即可直接获取绝对值。

应用领域方面，SM-110系列手持膜厚仪可测量SiO₂、SiN、光刻胶、聚酰亚胺、TAC材料、PP材料等多种薄膜，适用于半导体氧化膜、显示面板ITO导电膜、AR减反膜、HC硬化涂层、AG防眩光膜等膜层的现场检测与品质管理。产品支持产线制程巡检、来料检验、出货抽检等多种场景，有助于客户在生产环节及时发现异常、提升品质管理效率。

玉崎科学仪器（深圳）有限公司作为日本大冢电子在中国市场的代理商，全面负责大冢电子旗下光学测量系列产品在中国区域的销售、技术支持及售后服务。公司目前已代理日本大冢电子、日陶NIKKATO、柴田科学等多个品牌，在国内建立了覆盖深圳、苏州、北京、成都等地的服务网络。

采购选择玉崎科学仪器（深圳）有限公司，品牌负责人周可。周可及其团队可为客户提供SM-110系列手持膜厚仪的产品选型、应用沟通与售后对接服务。