湾芯展快讯：玉崎科学带来 SM-110 手持 Smart 膜厚仪

2026湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）于10月14日至16日在深圳会展中心（福田）举办。本届展会展览面积近8万平方米，参展企业达1000余家，同比增长66%，汇聚来自22个国家和地区的半导体核心力量，覆盖晶圆制造、化合物半导体、先进封装、IC设计等重点领域。玉崎科学仪器（深圳）有限公司作为日本大冢电子（OTSUKA）在中国市场的代理商，携SM-110系列手持Smart膜厚仪亮相本届展会。

半导体制造与光学镀膜制程中，薄膜厚度的现场快速检测一直是品质管理的关键环节。传统台式膜厚仪依赖实验室环境，样品需送检后等待结果，难以满足产线巡检与来料检验的时效要求。SM-110系列手持膜厚仪正是面向这一需求而推出的便携式解决方案。

SM-110系列采用反射分光法（光学干涉法）测量原理。测量时，白光入射至样品表面，分别在薄膜表面与膜-基底界面产生反射光，通过解析光学干涉光谱并结合材料折射率计算薄膜厚度。该方法属于非接触、非破坏式测量，不会损伤工件表面，样品可保留用于后续工序。

该系列分为SM-110PO（Pro）和SM-110SO（Standard）两个型号。Pro版支持最多3层多层膜解析，单层膜厚测量范围0.1–100μm，多层膜1–100μm（折射率1.6条件下）；Standard版适用于单层膜测量，量程1–50μm。测量波长范围400–1000nm，测量重复性可达2.1σ＜0.01μm（SiO₂ 1μm），测量光斑直径Φ1mm及以下。

便携性是SM-110系列的核心设计特点。整机尺寸约H54×W138×D198mm，重量仅约1.1kg，内置触控屏幕并支持电池供电，可直接携带至无尘车间、产线工位或成品检验现场完成测量，单点测量时间约1秒。设备不受基材导电属性限制，金属、玻璃、硅片、塑料均可测量，弥补了涡流式、磁性式膜厚仪无法测量非金属基材的局限，且无需制作校准片即可直接获取绝对值。Pro版还可显示反射率/功率谱曲线，便于用户观察光谱特征。数据支持U盘导出CSV格式，便于品质报表与制程追溯。

在配件方面，SM-110系列可选配笔型探头，探头尖C端Φ6mm，适用于狭窄区域或形状样品的测量；还可选配非接触式载台，用于湿膜或半导体晶圆等不宜接触样品的检测。

应用领域方面，SM-110系列可测量SiO₂、SiN、光刻胶、聚酰亚胺、TAC材料、PP材料等多种薄膜，适用于半导体晶圆光刻胶及氧化膜、显示面板ITO导电膜、AR减反膜、HC硬化涂层、AG防眩光膜等膜层的现场检测与品质管理。产品可覆盖产线制程巡检、来料检验、出货抽检等场景，助力客户在生产环节及时发现异常、提升品质管理效率。

玉崎科学仪器（深圳）有限公司作为日本大冢电子在中国市场的代理商，全面负责大冢电子旗下光学测量系列产品在中国区域的销售、技术支持及售后服务工作。公司目前已代理日本大冢电子、日陶NIKKATO、柴田科学等多个品牌，在国内建立了覆盖深圳、苏州、北京、成都等地的服务网络。

采购选择玉崎科学仪器（深圳）有限公司，品牌负责人周可。周可及其团队可为客户提供SM-110系列手持膜厚仪的产品选型、应用方案沟通与售后对接服务，协助客户根据基材类型、膜层结构及测量精度需求匹配对应型号。