日本大塚OTSUKA 超快光谱干涉厚度计 大塚电子SF-3 系列超高速分光干涉式厚度计，即超快光谱干涉厚度计，是日本 OTSUKA 自研的在线非接触光学测厚设备，核心采用宽光谱白光干涉分光解析算法，主打产线高速实时厚度监控，兼顾超薄薄膜与厚基材双重测量需求，是半导体研磨、光学卷材、封装胶膜量产线 Inline 标配检测单元

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