EBARA多级罗茨水冷干式真空泵 荏原代理商 EBARA 荏原 EV-M102N 属于 EV-M 系列水冷式多级罗茨干式真空泵，是针对半导体行业**大量固体副产物、卤素腐蚀性气体**严苛重制程开发的主力机型，依托荏原在半导体真空领域多年的工艺技术沉淀，广泛适配 LPCVD、PECVD、ALD、干法刻蚀

EBARA荏原水冷防腐干式真空泵 玉崎科学代理 EBARA 荏原 EV-M20N 属于 EV-M 系列水冷式多级罗茨干式真空泵，专为会产生大量副产物、微量腐蚀性气体的重制程工艺打造，依托荏原在半导体真空领域多年技术积累，在 LPCVD、刻蚀、薄膜沉积等半导体工艺场景拥有大量稳定量产实绩。

荏原EBARA多级罗茨干式真空泵 日本原厂供应 玉崎科学仪器（深圳）有限公司供应 EBARA 荏原 ESA500W 原厂正品干式真空泵，随机附带原厂说明书、出厂检测报告。可提供前期真空工艺选型评估、现场安装技术指导，设备交付后可配套定制维保方案。

荏原EBARA原厂*干式真空泵 原厂技术支持 EBARA 荏原 ESA200W 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列超大型大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨真空技术积淀打造，专为超大容积真空腔体高速抽气工况开发，主打大型 Load-lock、LCD 溅射

EBARA荏原 大容积真空腔干真空泵 一级代理 EBARA 荏原 ESA200W 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列超大型大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨真空技术积淀打造，专为超大容积真空腔体高速抽气工况开发，主打大型 Load-lock、LCD 溅射、光伏薄膜

原厂EBARA荏原 大型 Load-lock 干式真空泵 EBARA 荏原 ESA100W 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列顶级大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨真空技术积淀打造，专为超大容积真空腔体快速抽气工况设计，广泛应用于 MO-CVD、半导体 EPI 外延工艺、超大型 Load-lock 真空锁仓、LCD 溅射等场景。

原厂代理EBARA荏原 洁净无油多级罗茨真空泵 EBARA 荏原 ESA80W-HDF 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨真空技术积淀，专为超大容积真空腔体快速抽气工况开发，在 MO-CVD、半导体 EPI 外延工艺、超大型 Load-lock 真空锁仓等场景拥有大量落地应用实绩。

进口EBARA荏原 多级罗茨干式真空 代理商 EBARA 荏原 ESA70WN (-D) 多级罗茨干式真空泵，属于荏原 ESA 系列大抽速干式真空设备，依托荏原数十年罗茨泵研发制造经验打造，专为大容积真空腔体高速抽气设计

EBARA荏原 多级罗茨干式真空泵 原厂对接 EBARA 荏原 ESA25XW 属于 ESA 系列多级罗茨干式真空泵，依托荏原成熟罗茨真空技术打造，主打大抽速、轻气体高效排气，专门针对大容积真空腔室快速抽气工况开发，是 MO-CVD、半导体外延 EPI、大型 Load-lock 真空锁仓的主力机型。

EBARA荏原 干式罗茨真空泵 代理商供应 EBARA 荏原 ESA25-D 干式真空泵，属于荏原 ESA 系列多级罗茨干式泵，依托荏原成熟罗茨真空技术开发，专为半导体、化工、新材料领域大容积真空腔室快速抽气设计，在 MO-CVD、外延 EPI 工艺拥有大量现场应用实绩，是轻气体（氢气）排气场景的主流选型机型。